本报讯（记者郭树勋）新年伊始，我市科技重大项目取得新进展，其标志是在1月4日举行的全省2022年重大项目“三个一批”活动中，由沁阳市国顺硅源光电气体有限公司投资建设的电子新材料科技园开工奠基。该科技园专注“芯材料”国产化，涵盖半导体用卤硅烷、高纯电子特气、硅基光电新材料等五大系列20多个“芯材料”，聚焦新兴前沿，填补国家空白。

聚焦新兴前沿交叉领域和具有我国特色和优势领域的国家重大科技战略，是省委建设国家创新高地的重大举措之一。在焦作市委、市政府的统一领导下，沁阳市作为首批8个省级中试基地之一，主动对接国家重大科技战略，抢占重大科技项目制高点——“芯材料”。

此次电子新材料产业园的五大系列20多个产品是应用于芯片行业“芯材料”的核心特种气体。电子级氯硅烷系列是电子工业必不可缺的新型硅源气体，应用于硅外延和集成电路各种含硅薄膜的制备，是制作超大规模集成电路所必需的优质气源；电子级甲基硅烷是制备第三代半导体碳化硅的核心材料；电子级全氢聚硅氮烷用于芯片封装间隙填充和层间介电质，在半导体电子封装市场尤为广阔，目前Intel、三星、海力士等知名芯片公司已率先开始使用。

“芯材料”能在沁阳生产的关键是该市“聚焦产业链、创新链、供应链、要素链、制度链‘五链耦合’，积极培育产业联盟，着力构建现代工业体系”的结果。五大系列20多个“芯材料”用到的主要原材料工业级三氯硅烷由该市尚宇新能源供应，工业级氯化氢由该市的昊华宇航供应，不仅可大大降低全产业链生产成本，还对该市化工产业聚焦由基础型、资源型向精深加工、循环利用、资源增值方向转型具有重要意义。

沁阳电子新材料科技园投资建设方——沁阳国顺硅源光电气体有限公司长期致力于微电子行业半导体芯片配套高纯材料的研发与生产，五大系列20多个“芯材料”是该公司联合科研院所合作研发的硅基新材料系列产品，不仅是国内首创，具有完全的自主知识产权，还成功打破了国外封锁，实现进口替代，填补国家微电子行业核心电子材料的空白，彻底解决半导体“芯材料”国产化的问题，发展潜力巨大。

该公司副总经理张秋元告诉记者，该项目总投资6.6亿元，一期投资3.36亿元，今年7月底投产。该项目全部建成达产后年销售收入可实现近5亿元，综合税收3000多万元，为中国“芯”早日国产化贡献力量。